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Untersuchungen von oberflächennahen Nanostrukturen in Silizium-Systemen nach Ionenimplatation und bei epitaktischen Wachstum mit Methoden der Röntgenstreuung
Untersuchungen von oberflächennahen Nanostrukturen in Silizium-Systemen nach Ionenimplatation und bei epitaktischen Wachstum mit Methoden der Röntgenstreuung
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Beck, Udo Wolfgang Ludwig
1999
Deutsch
Universitätsbibliothek der Ludwig-Maximilians-Universität München
Beck, Udo Wolfgang Ludwig (1999): Untersuchungen von oberflächennahen Nanostrukturen in Silizium-Systemen nach Ionenimplatation und bei epitaktischen Wachstum mit Methoden der Röntgenstreuung. Dissertation, LMU München: Fakultät für Physik
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